研究内容
超净实验室：
布劳恩手套箱及内置热蒸镀仪
Keysight B1500A 半导体测试系统
磁控溅射
光刻机
原子层沉积仪
1kN 电子式动静态万能材料试验机
等离子清洗机
优傲协作机器人UR10e
光电化学测试系统
正置光学显微镜
电话:0755-26538560 邮箱:zcpeng@szu.edu.cn
地址:深圳市南山区南海大道3688号深圳大学光电子所209 深圳大学南校区物理与光电工程大楼1213
